掃描電鏡高溫力學(xué)原位系統(tǒng)是集成于掃描電鏡(SEM)腔體內(nèi)部的熱-力耦合動(dòng)態(tài)表征裝置，可在真空環(huán)境下對(duì)樣品同步施加精確高溫場(chǎng)與力學(xué)載荷，同時(shí)利用 SEM 高分辨成像，實(shí)時(shí)觀測(cè)材料在高溫受力過(guò)程中的微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)與成分演變，是高溫合金、陶瓷、復(fù)合材料等先進(jìn)材料服役行為研究的核心設(shè)備。

　　掃描電鏡高溫力學(xué)原位系統(tǒng)的組成：

　　掃描電鏡主體：

　　具備高分辨電子探測(cè)器，可提供表面靈敏的高分辨率圖像，用于觀察樣品的微觀形貌。

　　配備能譜、電子背散射衍射等分析附件，可在觀察樣品形貌的同時(shí)，進(jìn)行元素分析和晶體學(xué)特征分析。

　　高溫原位臺(tái)：

　　是系統(tǒng)的核心部件，通常采用電阻加熱方式，可實(shí)現(xiàn)一定溫度范圍內(nèi)的精準(zhǔn)控制。

　　加熱區(qū)覆蓋整個(gè)觀測(cè)區(qū)域，升溫降溫速度快，熱場(chǎng)穩(wěn)定且均勻。

　　力學(xué)加載裝置：

　　可在高溫環(huán)境下對(duì)樣品施加拉伸、壓縮、三點(diǎn)彎曲等力學(xué)載荷，實(shí)現(xiàn)原位力學(xué)性能測(cè)試。

　　具備高精度壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，納米級(jí)別精度數(shù)字化準(zhǔn)確定位。

　　控制系統(tǒng)：

　　包括溫度控制器、力學(xué)控制器等，以及相應(yīng)的軟件，可實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度、力學(xué)加載等條件的精確控制和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

　　支持自定義程序升溫曲線，可定義多步升溫程序、恒溫時(shí)間等，同時(shí)可手動(dòng)控制目標(biāo)溫度及時(shí)間。