透射電鏡力電原位系統(tǒng)是一種集成力學(xué)加載、電學(xué)測(cè)試與透射電鏡高分辨成像的原位表征設(shè)備,核心是在透射電鏡樣品桿中加裝掃描探針、力傳感器和電學(xué)測(cè)試單元,可同步獲取材料原子尺度微觀結(jié)構(gòu)與力電性能數(shù)據(jù),廣泛應(yīng)用于納米材料、新能源材料等領(lǐng)域的微觀構(gòu)效關(guān)系研究。
透射電鏡力電原位系統(tǒng)主要由以下幾部分構(gòu)成:
原位力-電樣品桿:作為核心部件,樣品桿內(nèi)置MEMS芯片,實(shí)現(xiàn)力、電復(fù)合多場(chǎng)自動(dòng)控制及反饋測(cè)量。其設(shè)計(jì)需滿足透射電鏡的腔體空間限制,同時(shí)確保機(jī)械穩(wěn)定性高、電磁屏蔽性能良好,以避免對(duì)成像光路形成干擾。
MEMS力學(xué)加電芯片:采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)加工,實(shí)現(xiàn)電場(chǎng)和力學(xué)加載的獨(dú)立控制。芯片設(shè)計(jì)需兼顧高精度力學(xué)加載與電學(xué)信號(hào)傳輸。
力學(xué)-溫度控制系統(tǒng):支持高溫條件下的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能測(cè)試,滿足極*工況下的原位表征需求。
電學(xué)控制器:集成電流電壓測(cè)試單元,支持自動(dòng)電流-電壓(I-V)測(cè)量、電流-時(shí)間(I-t)測(cè)量,并具備數(shù)據(jù)自動(dòng)保存功能。電壓輸出范圍涵蓋普通模式±10V與高壓模式±150V,以適應(yīng)不同實(shí)驗(yàn)需求。
納米探針操縱系統(tǒng):通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)探針的高精度操縱,確保探針移動(dòng)平穩(wěn),實(shí)現(xiàn)高分辨原位觀察實(shí)驗(yàn)。
附件包與針尖制備系統(tǒng):提供實(shí)驗(yàn)所需的輔助工具與針尖制備設(shè)備,確保實(shí)驗(yàn)流程的完整性與便捷性。