高真空存桿儀可自由設(shè)置為原位樣品臺提供高真空存放環(huán)境，避免樣品臺受到污染，更可清潔樣品臺，尤其適用于原位樣品臺。方便研究人員對不同樣品臺的切換，觸屏控制最多可實現(xiàn)10路樣品臺單獨存取。系統(tǒng)可實現(xiàn)真空度檢測及真空度智能維持及漏氣報警功能。
高真空存桿儀的結(jié)構(gòu)介紹：
1.腔體靠近樣品區(qū)的位置為可視化窗口設(shè)計，可直接觀察樣品桿上的樣品、芯片等，方便操作。接口模塊包含真空閥，用以在電源關(guān)閉時保持真空狀態(tài)，或在取桿時實現(xiàn)氣體快速通入，加速樣品桿取出過程。高真空存桿腔體采用模塊化設(shè)計，支持多個廠家樣品桿，適用廠家包括：JEOL、FEI、Hitachi。
2.觸屏控制界面，可以進(jìn)行真空數(shù)據(jù)設(shè)定、讀取及觸控操作(HMI)，圖形化界面清晰簡潔、操作簡便。
3.高真空自動控制系統(tǒng)，可以根據(jù)參數(shù)設(shè)置要求，自動控制分子泵的啟動與停止，確保樣品桿長期處于高真空狀態(tài)。
4.內(nèi)置高真空測量系統(tǒng)和高真空發(fā)生系統(tǒng)，其中測量系統(tǒng)包括真空度測量和分子泵轉(zhuǎn)速測量，高真空發(fā)生系統(tǒng)包括真空管道、真空泵、真空閥、真空計等，為產(chǎn)品提供高真空存儲環(huán)境。
